Nikon veröffentlicht den NSR

Unterstützt eine Vielzahl von Halbleiterbauelementen und kann vorhandene Stepper ergänzen oder ersetzen

31. August 2023

TOKIO – Nikon Corporation freut sich, die Veröffentlichung des NSR-2205iL1 5-fach verkleinerten i-line-Schrittmotors bekannt zu geben, der zur Herstellung einer Vielzahl von Geräten wie Leistungs- und Kommunikationshalbleitern sowie MEMS verwendet wird und vollständig kompatibel mit bestehenden Nikon i-Geräten ist. Zeilenbelichtungssysteme. Der 2205iL1 bietet ein hervorragendes Preis-Leistungs-Verhältnis und ermöglicht eine optimierte Produktion verschiedener Halbleiterbauelemente unabhängig vom Wafermaterial. Der NSR-2205iL1 stellt die bedeutendste Erneuerung der 5x-Stepper-Technologie von Nikon in den letzten 25 Jahren dar, und die Systementwicklung war eine direkte Reaktion auf die Kundennachfrage nach diesen Lithografiesystemen, die eine so wichtige Rolle bei der Chipherstellung spielen.

Mit zunehmender Verbreitung von Elektrofahrzeugen, Hochgeschwindigkeitskommunikation und verschiedenen IT-Geräten wächst die Nachfrage nach Halbleitern zu deren Unterstützung exponentiell. Diese Halbleiter müssen eine Vielzahl anspruchsvoller Funktionen erfüllen, und daher benötigen Gerätehersteller spezielle Substrate und Belichtungssysteme, um diese Chips herzustellen. Nikon erfüllt diese Anforderungen an Lithographiesysteme häufig durch Maßnahmen wie die Aufarbeitung früherer Stepper. Allerdings kann das Angebot an generalüberholten Schrittmotoren begrenzt sein und möglicherweise nicht ausreichen, um die Anforderungen der Kunden zu erfüllen. Um zusätzliche flexible Belichtungsausrüstungslösungen bereitzustellen, bringt Nikon daher einen neuen 5-fach i-line-Stepper auf den Markt, der das in enger Zusammenarbeit mit Kunden gewonnene Wissen nutzt, um ihnen spezielle Lösungen zu bieten, die der Marktnachfrage gerecht werden und den begrenzten und alternden Stepper angehen Neben der Erweiterung verschiedener Optionen, um den unterschiedlichen Bedürfnissen der Kunden gerecht zu werden, wird dieser neu entwickelte i-line-Stepper auch die langfristige Geräteproduktion unterstützen.

Der NSR-2205iL1 bietet eine hohe Produktivität und optimiert gleichzeitig die Ausbeute für eine Vielzahl von Halbleiterfertigungsprozessen durch hochpräzise Wafermessung mit Mehrpunkt-Autofokus (AF), fortschrittlicher Wafer-Stufennivellierung*1 und großem DOF (erweiterter Tiefenschärfebereich). unter anderem Vorteile. Darüber hinaus eignet es sich aufgrund seiner Waferdicke und -größenkompatibilität, seiner hohen Waferverzugstoleranz und seiner flexiblen Fähigkeiten, einschließlich, aber nicht beschränkt auf die Unterstützung der Verarbeitung von SiC (Siliziumkarbid) und GaN (Galliumnitrid), gut für eine Vielzahl von Anwendungen. Der NSR-2205iL1 i-line Stepper bietet ein hervorragendes Preis-Leistungs-Verhältnis und erfüllt gleichzeitig die vielfältigen Anforderungen der Chiphersteller.

Kunden, die Nikon i-line-Belichtungssysteme in ihrer Fabrik haben, können bereits vorhandene Ressourcen und Vorgänge wie Fotomasken und Wafer-Belichtungsrezepte weiterhin nutzen. Der 2205iL1 ist nicht nur mit bestehenden Fabrikabläufen kompatibel, sondern kann auch vorhandene Schrittmotoren ergänzen oder ersetzen, die den Fertigungsanforderungen nicht mehr entsprechen.

Der NSR-2205iL1 kann über einen längeren Zeitraum problemlos verwendet werden, da sein Design auf handelsüblichen Allzweckkomponenten basiert, was die Beschaffung von Teilen einfacher denn je macht und eine nachhaltigere Lithografielösung für die Zukunft bietet.

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